マイクロ波光導電減衰法によるp型4H-SiCエピタキシャル膜の評価
マイクロ波光導電減衰法によるp型4H-SiCエピタキシャル膜の評価
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微波光电导衰减法评价p型4H-SiC外延薄膜
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大島武
中科院分区：
文献类型：
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作者：
松下由憲;加藤正史;市村正也;畑山智亮;大島武
