数値制御プラズマCVMによるヨハンソン型Si(111)二重湾曲分光結晶のダメージフリー加工(第2報)
数値制御プラズマCVMによるヨハンソン型Si(111)二重湾曲分光結晶のダメージフリー加工(第2報)
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使用数控等离子体 CVM 对 Johansson 型 Si(111) 双曲光谱晶体进行无损伤加工（第二次报告）
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
細田真央
中科院分区：
文献类型：
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作者：
上田真己;瀧口達也;是津信行;山村和也;上田真己;細田真央
