多結晶Ge-TFTの性能評価と粒界・方位制御技術

多結晶Ge-TFTの性能評価と粒界・方位制御技術
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多晶Ge-TFT性能评价及晶界/取向控制技术

DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
都甲薫
都甲薫
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
石山隆光;今城利文;茂藤健太,山本圭介;末益崇;都甲薫

文献摘要

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