Measurement of the surface shape and optical thickness variation of a polishing crystal wafer by wavelength tuning interferometer
Measurement of the surface shape and optical thickness variation of a polishing crystal wafer by wavelength tuning interferometer
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波长调谐干涉仪测量抛光晶体片的表面形状和光学厚度变化
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yangjin Kim
中科院分区：
文献类型：
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作者：
金亮鎮;金亮鎮;Yangjin Kim;Yangjin Kim
