X線回折援用引張試験法によるMEMS被覆用多結晶TiN膜の力学特性評価
X線回折援用引張試験法によるMEMS被覆用多結晶TiN膜の力学特性評価
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X射线衍射辅助拉伸测试方法评价MEMS涂层用多晶TiN薄膜的机械性能
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小寺澤啓司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
生津資大;阿野大輔;井上尚三;小寺澤啓司
