リン酸を用いたMgO基板の結晶異方性エッチング
リン酸を用いたMgO基板の結晶異方性エッチング
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使用磷酸对 MgO 基板进行晶体各向异性蚀刻
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山崎 翔太
中科院分区：
文献类型：
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作者：
筒井真楠;森川高典;谷口正輝;山崎 翔太
