木下 治久: "A New Supermagnetron Plasma Etcher Remarkably Suited for High Performance Etching" Journal of Vacuum Science and Technology B (March/April). 9. (1991)
木下 治久: "A New Supermagnetron Plasma Etcher Remarkably Suited for High Performance Etching" Journal of Vacuum Science and Technology B (March/April). 9. (1991)
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Haruhisa Kinoshita:“一种非常适合高性能蚀刻的新型超磁控等离子体蚀刻机”,《真空科学与技术杂志 B》(3 月/4 月)。(1991 年)。
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