SiC単結晶の光化学反応とその研磨

SiC単結晶の光化学反応とその研磨
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SiC单晶的光化学反应及其抛光

DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
2004年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集
影响因子:
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通讯作者:
峠 睦
峠 睦
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
横峯和幸;渡邉純二;峠 睦

文献摘要

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