SiC単結晶の光化学反応とその研磨
SiC単結晶の光化学反応とその研磨
复制标题
SiC单晶的光化学反应及其抛光
DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
峠 睦
中科院分区:
文献类型:
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作者:
横峯和幸;渡邉純二;峠 睦