Wet Chemical Planarization of SiC Surface
Wet Chemical Planarization of SiC Surface
复制标题
SiC 表面的湿法化学平坦化
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Bui Van Pho
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Bui Van Pho
