450mmシリコンウエハ用ロータリ研削盤の開発（切込機構内蔵スピンドルの静剛性および位置決め精度）
450mmシリコンウエハ用ロータリ研削盤の開発（切込機構内蔵スピンドルの静剛性および位置決め精度）
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450mm硅片旋转磨床开发（内置切削机构主轴静刚性及定位精度）
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岩橋伸太郎，本多歩，楠山純平，北嶋孝之，由井明紀，齋藤浩嗣，A.H.Slocum
中科院分区：
文献类型：
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作者：
久住孝幸;池田 洋,中村竜太,佐藤安弘;赤上陽一;岩橋伸太郎，本多歩，楠山純平，北嶋孝之，由井明紀，齋藤浩嗣，A.H.Slocum
