M.Uematsu, H.Kageshima, K.Shiraishi: "Microscopic mechanism of thermal silicon oxide growth"Comp.Mater.Sci.. 24. 229-234 (2002)

M.Uematsu, H.Kageshima, K.Shiraishi: "Microscopic mechanism of thermal silicon oxide growth"Comp.Mater.Sci.. 24. 229-234 (2002)
复制标题

M.Uematsu、H.Kageshima、K.Shiraishi:“热氧化硅生长的微观机制”Comp.Mater.Sci.. 24. 229-234 (2002)

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献