スパッタリング法によるY-HZO強誘電体厚膜の室温製膜とその電気特性および圧電特性評価
スパッタリング法によるY-HZO強誘電体厚膜の室温製膜とその電気特性および圧電特性評価
复制标题
溅射法室温沉积Y-HZO铁电厚膜及其电学、压电性能评价
DOI：
--
复制
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
舟窪浩
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
志村礼司郎;三村和仙;舘山明紀;清水荘雄;白石貴久;舟窪浩
