T.Hara, H.Takahashi and Y.Ishizawa: "Composition of CVD Tungesten Silicides" J. Electrochem. Soc.134. 1302-1306 (1987)
T.Hara, H.Takahashi and Y.Ishizawa: "Composition of CVD Tungesten Silicides" J. Electrochem. Soc.134. 1302-1306 (1987)
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T.Hara、H.Takahashi 和 Y.Ishizawa：“CVD 硅化钨的组成”J. Electrochem。
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