Sub-10 nmのパターニングを実現するポリスチレン-ポリメタクリル酸メチルブロック共重合体の側鎖変換
Sub-10 nmのパターニングを実現するポリスチレン-ポリメタクリル酸メチルブロック共重合体の側鎖変換
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聚苯乙烯-聚甲基丙烯酸甲酯嵌段共聚物侧链转化实现亚10 nm图案化
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
佐藤敏文
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉田康平;田林;宮城賢;磯野拓也 ;山本拓矢 ;田島健次 ;佐藤敏文
