金属酸化物結晶の製造方法、金属酸化物エピタキシャル結晶積層基板の製 造方法、半導体装置の製造方法、金属酸化物結晶、金属酸化物エピタキシャル結晶積層基 板、半導体装置、及び金属酸化物結晶製造装置
金属酸化物結晶の製造方法、金属酸化物エピタキシャル結晶積層基板の製 造方法、半導体装置の製造方法、金属酸化物結晶、金属酸化物エピタキシャル結晶積層基 板、半導体装置、及び金属酸化物結晶製造装置
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金属氧化物晶体的制造方法、金属氧化物外延晶体层叠基板的制造方法、半导体装置的制造方法、金属氧化物晶体、金属氧化物外延晶体层叠基板、半导体装置以及金属氧化物晶体的制造装置
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发表时间：
2021
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