S.Kohjiro: "Stress in NbCxN_1-x Films prepared by Reactive RF Magnetron Sputtering" Jpn.Appl.Phys.32. 834-836 (1993)
S.Kohjiro: "Stress in NbCxN_1-x Films prepared by Reactive RF Magnetron Sputtering" Jpn.Appl.Phys.32. 834-836 (1993)
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S.Kohjiro：“通过反应射频磁控溅射制备的 NbCxN_1-x 薄膜中的应力”Jpn.Appl.Phys.32。
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