走査型非線形誘電率顕微鏡の原理と半導体ナノスケール物性評価への応用
走査型非線形誘電率顕微鏡の原理と半導体ナノスケール物性評価への応用
复制标题
扫描非线性介电常数显微镜原理及其在半导体纳米物理性能评价中的应用
DOI：
--
复制
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
山末 耕平
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
栗原諒;名木田海都;大橋圭太郎;山本泰暉;原田隆史;中西周次;神谷和秀;山末 耕平
