単結晶シリコンの機械的損傷の電子的性質に関する研究

単結晶シリコンの機械的損傷の電子的性質に関する研究
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单晶硅机械损伤电子特性研究

DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
徳田豊
徳田豊
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
小川将史;神谷庄司;泉隼人;徳田豊

文献摘要

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