単結晶シリコンの機械的損傷の電子的性質に関する研究
単結晶シリコンの機械的損傷の電子的性質に関する研究
复制标题
单晶硅机械损伤电子特性研究
DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
徳田豊
中科院分区:
文献类型:
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作者:
小川将史;神谷庄司;泉隼人;徳田豊