Vibrational Probing Technique for the Nano-CMM based on Optical Radiation Pressure Control

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DOI：
10.1016/s0007-8506(07)60730-6
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发表时间：
2004
期刊：
CIRP Annals
影响因子：
--
通讯作者：
Y. Takaya;K. Imai;Taeho Ha;T. Miyoshi;N. Kinoshita
Y. Takaya;K. Imai;Taeho Ha;T. Miyoshi;N. Kinoshita
中科院分区：
其他
文献类型：
--
作者：
Y. Takaya;K. Imai;Taeho Ha;T. Miyoshi;N. Kinoshita

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