Reduction of surface roughness by catalyst-referred etching
Reduction of surface roughness by catalyst-referred etching
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通过催化剂蚀刻降低表面粗糙度
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岡本武志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Okamoto;Y.Sano;K.Tachibana;K.Arima;A.N.Hattori;K.Yagi;J.Murata;S.Sadakuni;K.Yamauchi;Takeshi Okamoto;Takeshi Okamoto;橘一真;岡本武志;岡本武志;橘一真;岡本武志;岡本武志;岡本武志
