ナノインプリントリソグラフィによる金属パターン形成

ナノインプリントリソグラフィによる金属パターン形成
复制标题

通过纳米压印光刻形成金属图案

DOI:
--
复制
发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中川勝
中川勝
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
N.Kumano;Y.Takeoka;T.Seki;T.Kawamoto;H.Haga;K.Kawabata;瀧宮和男;中川勝

文献摘要

相似文献