ナノインプリントリソグラフィによる金属パターン形成
ナノインプリントリソグラフィによる金属パターン形成
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通过纳米压印光刻形成金属图案
DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
中川勝
中科院分区:
文献类型:
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作者:
N.Kumano;Y.Takeoka;T.Seki;T.Kawamoto;H.Haga;K.Kawabata;瀧宮和男;中川勝