炭素含有量制御によるB-C系薄膜の機械的特性向上

炭素含有量制御によるB-C系薄膜の機械的特性向上
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通过控制碳含量提高B-C薄膜的机械性能

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
森田 次郎
森田 次郎
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Jiro;MORITA;森田 次郎

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