Automated Mapping of Lattice Parameters and Lattice Bending Strain near a SiGe/Si Interface by using Split HOLZ Lines Patterns
Automated Mapping of Lattice Parameters and Lattice Bending Strain near a SiGe/Si Interface by using Split HOLZ Lines Patterns
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使用分割 HOLZ 线图案自动映射 SiGe/Si 界面附近的晶格参数和晶格弯曲应变
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中信夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
齋藤晃;濱邊麻衣子;田中信夫
