Pore Formation in Silicon by Wet Etching Using Mictometer-sized Metal Particles as Catalysts
Pore Formation in Silicon by Wet Etching Using Mictometer-sized Metal Particles as Catalysts
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使用微米级金属颗粒作为催化剂通过湿法蚀刻在硅中形成孔隙
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Lee
中科院分区：
文献类型：
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作者：
C. L.;Lee
