Three-dimensional measurement of a micro-hole by a microprobing system with method of local surface interaction force detection
Three-dimensional measurement of a micro-hole by a microprobing system with method of local surface interaction force detection
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采用局部表面相互作用力检测方法的微探测系统对微孔进行三维测量
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kazuhide Kamiya
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masakazu Aruga;So Ito;Takehiro Tomioka;Kimihisa Matsumoto;Kazuhide Kamiya
