4H-SiC(0001)上エピタキシャルグラフェンの表面ラフネスと層数均一性との相関

4H-SiC(0001)上エピタキシャルグラフェンの表面ラフネスと層数均一性との相関
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4H-SiC(0001)上外延石墨烯表面粗糙度与层数均匀性的相关性

DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
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通讯作者:
他
他
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作者:
田尾拓人;他

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