Transport of Nano-particles in Amplitude Modulated RF Discharges

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调幅射频放电中纳米粒子的传输

DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
Transactions of the Materials Research Society of Japan 32
影响因子：
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通讯作者：
and Masaharu Shiratani
and Masaharu Shiratani
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Shinya Iwashita;Kazunori Koga;and Masaharu Shiratani

文献摘要

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