Investigation of the interface between LiNbO3 and Si fabricated via room-temperature bonding method using activated Si nano layer
Investigation of the interface between LiNbO3 and Si fabricated via room-temperature bonding method using activated Si nano layer
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研究使用活化的硅纳米层通过室温键合方法制造的 LiNbO3 和 Si 之间的界面
DOI：
10.35848/1347-4065/acc2cb
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发表时间：
2023
影响因子：
1.5
通讯作者：
Takigawa Ryo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Murakami Seigo;Watanabe Kaname;Takigawa Ryo
