水素化微結晶シリコンを初期膜とするレーザ脱水素およびレーザ結晶化多結晶シリコン薄膜トランジスタ
水素化微結晶シリコンを初期膜とするレーザ脱水素およびレーザ結晶化多結晶シリコン薄膜トランジスタ
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以氢化微晶硅为初始薄膜的激光脱氢和激光晶化多晶硅薄膜晶体管
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
原明人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐藤旦;渋谷潤;山本健一;北原邦紀;原明人
