熱フィラメントCVD法で合成した低抵抗ダイヤモンド自立基板評価
熱フィラメントCVD法で合成した低抵抗ダイヤモンド自立基板評価
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热丝CVD法合成低电阻金刚石自支撑基底的评价
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
杢野由明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大曲新矢;山田英明;梅沢仁;坪内信輝;茶谷原昭義;杢野由明
