Study on the reactive nano carbon fine particle for SiC-CMP
Study on the reactive nano carbon fine particle for SiC-CMP
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SiC-CMP用活性纳米碳微粒的研究
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Keisuke Suzuki,Panart Khajornrungruan,Yuta Todoroki,Masaki Morii and Hideaki Nishizawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Fuwei Tao;Yusuke Kishita;Yasushi Umeda;Keisuke Suzuki,Panart Khajornrungruan,Yuta Todoroki,Masaki Morii and Hideaki Nishizawa
