Tensile-Mode Fatigue Tests and Fatigue Life Predictions of Single Crystal Silicon in Humidity Controlled

Tensile-Mode Fatigue Tests and Fatigue Life Predictions of Single Crystal Silicon in Humidity Controlled
复制标题

湿度控制下单晶硅的拉伸模式疲劳试验和疲劳寿命预测

DOI：
--
复制
发表时间：
2007
期刊：
The 20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
影响因子：
--
通讯作者：
Toshiyuki Tsuchiya
Toshiyuki Tsuchiya
中科院分区：
--
文献类型：
--
作者：
Yusuke Yamaji;Koji Sugano;Osamu Tabata;Toshiyuki Tsuchiya

文献摘要

相似文献