柴田直,桑原英司,大見忠弘,斎藤逹之,清田哲司: 超LSIウルトラクリーンテクノロジーシンポジウムNo.4.プロシーティング「高性能プロセス技術」. 181-202 (1987)

Naoshi Shibata、Eiji Kuwahara、Tadahiro Omi、Tatsuyuki Saito、Tetsuji Kiyota：超级 LSI 超清洁技术研讨会第 4 期。论文集“高性能工艺技术”181-202 (1987)。