A New Standard for Thin Film Actuators with Sol-gel PZT
A New Standard for Thin Film Actuators with Sol-gel PZT
复制标题
采用溶胶-凝胶 PZT 的薄膜致动器的新标准
DOI：
10.2352/issn.2169-4451.2017.33.133
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Sivaramakrishnan
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Peter Mardilovich;C. Fragkiadakis;S. Ko;M. Sivaramakrishnan
