Deposition of metal-doped diamond-like carbon coatings by CVD and PVD hybrid process
Deposition of metal-doped diamond-like carbon coatings by CVD and PVD hybrid process
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采用 CVD 和 PVD 混合工艺沉积金属掺杂类金刚石碳涂层
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and T. Takagi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Takeno;H. Miki;and T. Takagi
