アモルファスSiからなる積層型光回路の基礎検討(II)
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非晶硅叠层光路的基础研究（二）
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
和田 恭雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
遠藤 峻，齋木 健太，吹留 啓太，勝山 俊夫，徳田 正秀，高木 均，森田 正幸，伊藤嘉敏，筒井 謙;和田 恭雄
