Shuichi Dejima, Wei Gao, Satoshi Kiyono, Ybshiyuki Tomita: "Multi-degree of freedom precision stage system integrated with a surface encoder"Proc. of 3rd euspen Int. Conf., Eindhoven. 59-62 (2002)
Shuichi Dejima, Wei Gao, Satoshi Kiyono, Ybshiyuki Tomita: "Multi-degree of freedom precision stage system integrated with a surface encoder"Proc. of 3rd euspen Int. Conf., Eindhoven. 59-62 (2002)
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Shuichi Dejima、Wei Gaus、Satoshi Kiyono、Ybshiyuki Tomita：“集成表面编码器的多自由度精密平台系统”Proc.
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