田邊裕一郎, 浮田宏生: "3層バイモルフ微小梁の熱変位拡大のための一設計" 電気学会マイクロマシン研究会資料. MM-98-5. 23-25 (1998)
田邊裕一郎, 浮田宏生: "3層バイモルフ微小梁の熱変位拡大のための一設計" 電気学会マイクロマシン研究会資料. MM-98-5. 23-25 (1998)
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Yuichiro Tanabe、Hiroo Ukita:“一种增加三层双压电晶片微梁热位移的设计”IEEJ Micromachine Research Group Materials。 MM-98-5(1998)。
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