Acceleration Factors for the Decomposition of Thermally Grown SiO2 Films
Acceleration Factors for the Decomposition of Thermally Grown SiO2 Films
复制标题
热生长 SiO2 薄膜分解的加速因子
DOI:
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发表时间:
1987
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
S. Raider
中科院分区:
文献类型:
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作者:
K. Hofmann;S. Raider