Pressure Measurement Technique using Pressure Sensitive Molecular Film for Micro Devices

Pressure Measurement Technique using Pressure Sensitive Molecular Film for Micro Devices
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微型器件压敏分子膜压力测量技术

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
The 3rd Taiwan-Japan Workshop on Mechanical and Aerospace Engineering (CD-R)
影响因子：
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通讯作者：
Hiroyuki Uenishi
Hiroyuki Uenishi
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Hideo Mori;Tomohide Niimi;Yu Matsuda;Hiroyuki Uenishi

文献摘要

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