Application of Turbo Molecular Pump Using 5-Axes Active Magnetic Bearing to Vibration Suppression Apparatus

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五轴主动磁力轴承涡轮分子泵在减振装置中的应用

DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
Journal of the Japan Society for Precision Engineering Vol. 73, No. 7
影响因子：
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通讯作者：
Sasaki
Sasaki
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Shinji;Wakui;Yu;Sasaki

文献摘要

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