A two-step electrochemical etch-stop to produce freestanding bulk-micromachined structures
A two-step electrochemical etch-stop to produce freestanding bulk-micromachined structures
复制标题
用于生产独立体微机械结构的两步电化学蚀刻停止
DOI：
10.1016/s0924-4247(97)01358-7
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发表时间：
1997
影响因子：
4.6
通讯作者：
W. Münch
中科院分区：
文献类型：
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作者：
D. Eichner;W. Münch
