M.Shiratani, M.Kai, K.Imabeppu, K.Koga, Y.Watanabe: "Correlation between Si cluster amount in silane HF discharges and quahity of a-Si : H films"Proc. of ESCANPIG16/ICRP5 Joint Meeting. 2. 323-324 (2002)
M.Shiratani, M.Kai, K.Imabeppu, K.Koga, Y.Watanabe: "Correlation between Si cluster amount in silane HF discharges and quahity of a-Si : H films"Proc. of ESCANPIG16/ICRP5 Joint Meeting. 2. 323-324 (2002)
复制标题
M.Shiratani、M.Kai、K.Imabeppu、K.Koga、Y.Watanabe：“硅烷 HF 放电中 Si 簇数量与 a-Si : H 薄膜质量之间的相关性”Proc。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
