山田泰美、田坂 茂、稲垣訓宏: "SiOx薄膜合成におけるリモート酸素プラズマの効果" 高分子論文集. 53. 33-40 (1996)

山田泰美、田坂 茂、稲垣訓宏: "SiOx薄膜合成におけるリモート酸素プラズマの効果" 高分子論文集. 53. 33-40 (1996)
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Yasumi Yamada、Shigeru Tasaka、Norihiro Inagaki:“远程氧等离子体对 SiOx 薄膜合成的影响”《聚合物研究杂志》53. 33-40 (1996)。

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