Oxidation of TiNi surface with hyperthermal oxygen molecular beams
Oxidation of TiNi surface with hyperthermal oxygen molecular beams
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DOI：
10.1016/j.apsusc.2010.12.033
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发表时间：
2011-02
影响因子：
6.7
通讯作者：
M. Okada;Makoto Souwa;T. Kasai;Y. Teraoka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Okada;Makoto Souwa;T. Kasai;Y. Teraoka
我们报告了在回填中使用 2eV 高温氧分子束 (HOMB) 和热 O2 对 TiNi 的初始氧化过程进行详细研究的结果。通过 X 射线光电子能谱 (XPS) 测量结合同步加速器辐射 (SR) 来监测氧化过程。在氧化的早期阶段，前体介导的解离吸附是主要的反应机制。在较高 O 覆盖率的氧化物形成过程中，HOMB 在 O2 分子的解离过程中具有优势，并且可以生长 TiO2 层以及下面的富 TiOx 和/或富 Ni 层。我们结合 HOMB 和表面退火，成功制造了厚的无镍 TiO2 层，可能是蓝色金红石 TiO2。
We report results of our detailed studies on the initial oxidation process of TiNi with a 2eV hyperthermal oxygen molecular beam (HOMB) and thermal O2in the backfilling. The oxidation processes are monitored by X-ray photoemission spectroscopy (XPS) measurements in conjunction with synchrotron radiation (SR). In the early stage of oxidation, the precursor mediated dissociative adsorption is the dominant reaction mechanism. In the oxide formation process at higher O coverage, HOMB has the advantage in the dissociation process of O2molecule and can grow TiO2layers with the underlying TiOx-rich and/or Ni-rich layers. We succeeded in fabricating thick Ni-free TiO2layer, possibly blue colored rutile TiO2, combining HOMB and surface annealing.