Cathodic Deposition of Amorphous Silicon from Tetraethylorthosilicate in Organic Solvents
Cathodic Deposition of Amorphous Silicon from Tetraethylorthosilicate in Organic Solvents
复制标题
原硅酸四乙酯在有机溶剂中的阴极沉积非晶硅
DOI：
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发表时间：
1981
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
F. A. Kröger
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Takeda;R. Kanno;O. Yamamoto;T. Mohan;Chia‐Hao Lee;F. A. Kröger
