超高圧電子顕微鏡トモグラフィーによる立体観察技術〜病理組織から半導体デバイスまで〜
超高圧電子顕微鏡トモグラフィーによる立体観察技術〜病理組織から半導体デバイスまで〜
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利用超高压电子显微镜断层扫描的三维观察技术~从病理组织到半导体器件~
DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
鷹岡昭夫
中科院分区:
文献类型:
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作者:
A.Takaoka;H.Mori;鷹岡昭夫