プラズマ支援真空蒸着法で成膜したポリイミド系薄膜の表面特性
プラズマ支援真空蒸着法で成膜したポリイミド系薄膜の表面特性
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等离子体辅助真空蒸镀聚酰亚胺薄膜的表面特性
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
ほか4名
中科院分区：
文献类型：
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作者：
岩森暁;ほか4名
