S.Horii, T.Toda, S.Horita: "HF and Hydrazine Monohydrate Solution Treatment for Suppressing Oxidation of ZrN Film Surface"Japanese Journal of Applied Physics. Vol.40・No.9A/B. L976-L979 (2001)
S.Horii, T.Toda, S.Horita: "HF and Hydrazine Monohydrate Solution Treatment for Suppressing Oxidation of ZrN Film Surface"Japanese Journal of Applied Physics. Vol.40・No.9A/B. L976-L979 (2001)
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S.Horii、T.Toda、S.Horita：“抑制 ZrN 膜表面氧化的 HF 和一水合肼溶液处理”日本应用物理学杂志第 40 卷·No.9A/B（2001 年）。
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