スパッタ法で作製したGd添加AlN膜の結晶性と光学特性の基板及び膜厚依存性
スパッタ法で作製したGd添加AlN膜の結晶性と光学特性の基板及び膜厚依存性
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溅射法制备的 Gd 掺杂 AlN 薄膜的结晶度和光学性能与基底和薄膜厚度的关系
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
木山善男
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高山功介;小楠和彦;S.Emura;木山善男
